實(shi)驗(yan)室用(yong)真(zhen)空(kong)泵的(de)防油(you)汙(wu)染(ran)措(cuo)施

　　實(shi)驗(yan)室用(yong)真(zhen)空(kong)泵的(de)工作(zuo)壓(ya)強應(ying)該滿(man)足真(zhen)空(kong)設備的極限真空(kong)及工作(zuo)壓(ya)強要求。如(ru)：真(zhen)空(kong)鍍膜要求110-5mmHg的(de)真(zhen)空(kong)度(du)，選用(yong)的(de)真(zhen)空(kong)泵的(de)真空(kong)度(du)至少要510-6mmHg。通(tong)常選擇泵的(de)真(zhen)空(kong)度(du)要高(gao)於真空(kong)設備真空(kong)度(du)半(ban)個到(dao)壹個數(shu)量級(ji)。

 

　　正確(que)地(di)選擇(ze)實(shi)驗(yan)室用(yong)真(zhen)空(kong)泵的(de)工作(zuo)點(dian)。每(mei)種泵都(dou)有壹定(ding)的工作(zuo)壓(ya)強範圍(wei)，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這(zhe)樣寬壓(ya)強範圍(wei)內，泵的(de)抽速(su)隨壓強而變(bian)化，其穩定(ding)的工作(zuo)壓(ya)強範圍(wei)為510-4~510-6mmHg。因而(er)，泵(beng)的(de)工作(zuo)點(dian)應(ying)該選(xuan)在這(zhe)個範圍(wei)之內，而(er)不能讓它在10-8mmHg下(xia)長(chang)期工作(zuo)。又(you)如鈦升華(hua)泵可以在10-2mmHg下(xia)工作(zuo)，但(dan)其工作(zuo)壓(ya)強應(ying)小於110-5mmHg為好(hao)。

 

　　實(shi)驗(yan)室用(yong)真(zhen)空(kong)泵在其工作(zuo)壓(ya)強下(xia)，應(ying)能排走真空(kong)設備工藝(yi)過(guo)程(cheng)中(zhong)產(chan)生的全(quan)部(bu)氣(qi)體(ti)量。正確(que)地(di)組合(he)真(zhen)空(kong)泵。由於(yu)真(zhen)空(kong)泵有(you)選擇性(xing)抽氣(qi)，因而(er)，有(you)時選用(yong)壹(yi)種泵不能滿(man)足抽氣(qi)要求，需要幾(ji)種泵組合(he)起(qi)來(lai)，互相(xiang)補充(chong)才(cai)能滿(man)足抽氣(qi)要求。三(san)極型濺(jian)射(she)離子(zi)泵，（或二極型非(fei)對稱(cheng)陰極濺射離子(zi)泵）對氬有(you)壹(yi)定(ding)的抽速(su)，兩者(zhe)組合(he)起(qi)來(lai)，便會使(shi)真(zhen)空(kong)裝(zhuang)置(zhi)得(de)到(dao)較(jiao)好的真(zhen)空(kong)度(du)。另外，有的(de)真(zhen)空(kong)泵不能在大(da)氣壓(ya)下(xia)工作(zuo)，需要預真(zhen)空(kong)；有的(de)真空(kong)泵出(chu)口壓強低於(yu)大(da)氣壓，需要前級泵(beng)，故都(dou)需要把泵(beng)組合(he)起(qi)來(lai)使(shi)用(yong)。

 

　　真(zhen)空(kong)設備對油汙(wu)染(ran)的要求。若設(she)備嚴(yan)格(ge)要求無(wu)油(you)時，應(ying)該選(xuan)各(ge)種無油(you)泵，如：水(shui)環(huan)泵、分(fen)子(zi)篩(shai)吸附泵(beng)、濺射(she)離子(zi)泵、低溫(wen)泵(beng)等。如果(guo)要求不嚴(yan)格(ge)，可以選擇有油(you)泵(beng)，加(jia)上壹些防油(you)汙(wu)染(ran)措(cuo)施，如(ru)加(jia)冷阱(jing)、障(zhang)板、擋(dang)油(you)阱(jing)等，也(ye)能達(da)到(dao)清潔真(zhen)空(kong)要求。